電子行業潔凈室的特點

(1)氣流分布要求很均勻潔凈空調室為維持室內高潔凈度，必須去除室內 所產生的微塵粒子，.因此對氣流組織有嚴格的要求。對于ISO3-ISO6級（1~ 1000級）的潔凈室目前采用上頂棚送風，下地板回風的垂直單向流氣流組織。對于ISO7 ~ ISO8級（10000-100000級）的潔凈室常采用上頂棚送風，下側回風口的非單向流氣流組織。

(2)恒溫恒濕控制精度高由于電子產品的制造工藝對溫、濕度變化極為敏感，所以在潔凈室工藝區域的空氣參數須嚴格控制在極小的范圍內。潔凈空調系統目前普遍采用了控制靈活、性能可靠的DDC自控系統，當室內空氣參數達不到設計要求時，可通過DDC控制系統來自動調節各個閥門開大或關小。這樣就不至于使房間溫、濕度波動太大，影響產品質量和成品率。

(3)新風量大，換氣次數高在電子產品制造過程中需使用有毒的化學品，會產生有毒的廢氣，必須排出室外。為保持潔凈室內正壓和滿足衛生條件，必須補充大量新風。為了保持高潔凈度，潔凈室應有較高的換氣次數，同時室內的空氣流速不能太大，一般在0.4m/S以下。

(4)潔凈室空調冷負荷大但濕負荷很小，熱濕比值接近無限大電子行業的潔凈室一般都置于建筑物的中部，雖然通過圍護結構的得熱量較小，但潔凈室內工藝設備的發熱量相當大，即全年需要排除室內余熱量。潔凈室內一般無散濕源，工作人員也是密封在防塵服中。為了減少靜電現象，空氣不能太干燥，這就要求空調系統處理室內回風時不能是減濕過程。